A microtool for manipulating components is proposed. A component is held with the microtool by at least one gripper arm having a gripping surface, the gripper being movable by an actuator structure. Also provided is a device for releasing the held component from the gripping surface, whereby an acceleration is induced in the gripper arm for at least a time, and the force of inertia resulting from the inertial mass of the held component and the exerted acceleration will be greater than any force of adhesion acting between the held component and the gripping surface. A process is also proposed for producing a microtool or a microtool part, in particular a microgripper by micropatterning. For this purpose, the microtool or the microtool part to be manufactured is patterned out of a layered structure having a base layer, an intermediate layer, and a structuring layer, which is patterned using a masking layer in conformance with the geometry of the microtool to be manufactured; the microtool or the microtool part is patterned out of the structuring layer. Subsequently, the intermediate layer is then undercut (e.g., etched from underneath) in a second etching process.

Microtool для манипулируя компонентов предложено. Компонент держится с microtool по крайней мере одной рукояткой gripper имея gripping поверхность, gripper подвижн структурой привода. Также обеспечено приспособление для выпускать, котор держат компонент от gripping поверхности, whereby ускорение наведено в рукоятке gripper на по крайней мере время, и усилие инерции приводящ к от инерциальной массы, котор держат компонента и приложенного ускорения будет greater than любое усилие прилипания действуя между, котор держат компонентом и gripping поверхностью. Процесс также предложен для производить microtool или часть microtool, в частности microgripper путем micropatterning. Для этой цели, microtool или часть microtool быть изготовленным сделаны по образцу из наслоенной структуры имея низкопробный слой, промежуточный слой, и составляя слой, который сделан по образцу использующ маскируя слой в прилегании при геометрия microtool, котор нужно изготовить; microtool или часть microtool сделаны по образцу из составляя слоя. Затем, промежуточный слой после этого undercut (например, вытравлено от underneath) в втором процессе вытравливания.