An interference measuring apparatus has an optical system for dividing a
coherent light beam into two light beams, causing the divided two light
beams to pass along discrete optical paths and making them into linearly
polarized light beams orthogonal to each other and given modulation to the
phase of the wave front of at least one of them, and again superposing the
wave fronts of the linearly polarized light beams one upon the other, a
light dividing member for dividing the light beams superposed one upon the
other by the optical system into a plurality of light beams, a rock
crystal plate formed with a predetermined level difference in conformity
with the incidence positions of the plurality of light beams, a polarizing
plate for taking out each light beam transmitted through the rock crystal
plate with a 45.degree. polarized component, and a plurality of light
receiving elements for individually receiving the light beams taken out by
the polarizing plate, a plurality of different interference phase signals
being provided by the reception of lights of the light receiving elements.
Een interferentie metend apparaat heeft een optisch systeem om een coherente lichtstraal te verdelen in twee lichtstralen, de verdeelde twee lichtstralen te veroorzaken om langs afzonderlijke optische wegen en hen orthogonal in lineair gepolariseerde lichtstralen te maken tot elkaar en bepaalde modulatie aan de fase van de golfvoorzijde van minstens één van hen over te gaan, en opnieuw de golfvoorzijden van de lineair gepolariseerde lichtstralen superposing op andere, een licht verdelend lid voor het verdelen van de lichtstralen boven elkaar geplaatste op andere door het optische systeem in een meerderheid van lichtstralen, plaatst een plaat van het rotskristal die met een vooraf bepaald niveauverschil wordt gevormd in overeenstemming met de weerslag van de meerderheid t dividing member for dividing the light beams superposed one upon the other by the optical system into a plurality of light beams, a rock crystal plate formed with a predetermined level difference in conformity with the incidence positions of the plurality of light beams, een het polariseren plaat voor het nemen van elke lichtstraal die door de plaat van het rotskristal met een 45.degree. wordt overgebracht polariseerde component, en een meerderheid van licht dat elementen voor individueel het ontvangen van de lichtstralen ontvangt die door de het polariseren plaat, een meerderheid worden van de verschillende signalen die van de interferentiefase door de ontvangst van lichten van het licht worden verstrekt genomen dat elementen ontvangt.