Embodiments of the present invention are directed to substrate processing systems having substrate transferring mechanisms that are compact, have small footprints, and provide fast and efficient substrate transfer to achieve high throughput. In specific embodiments, a unit slab construction is used for the chambers around the substrate transferring mechanism, enabling efficient system construction with improved alignment and at a lower cost. The chambers may share gas, pump, and other utilizes. In one embodiment, an apparatus for processing substrates includes at least three robot blades each configured to support a substrate. A robot is coupled with the at least three robot blades to simultaneously move the robot blades between at least three chambers and simultaneously transfer each of the substrates supported on the robot blades from one chamber to another chamber.

Οι ενσωματώσεις της παρούσας εφεύρεσης κατευθύνονται στα συστήματα επεξεργασίας υποστρωμάτων που έχουν το υπόστρωμα μεταφέροντας τους μηχανισμούς που είναι συμπαγείς, έχουν τα μικρά ίχνη, και παρέχουν τη γρήγορη και αποδοτική μεταφορά υποστρωμάτων για να επιτύχουν την υψηλή ρυθμοαπόδοση. Στις συγκεκριμένες ενσωματώσεις, μια κατασκευή πλακών μονάδων χρησιμοποιείται για τις αίθουσες γύρω από το υπόστρωμα μεταφέροντας το μηχανισμό, επιτρέποντας την αποδοτική κατασκευή συστημάτων με τη βελτιωμένη ευθυγράμμιση και με χαμηλότερο κόστος. Οι αίθουσες μπορούν να μοιραστούν αέριο, αντλία, και άλλος χρησιμοποιεί. Σε μια ενσωμάτωση, μια συσκευή για τα υποστρώματα περιλαμβάνει τουλάχιστον τρεις λεπίδες κάθε μια ρομπότ που διαμορφώνεται για να υποστηρίξει ένα υπόστρωμα. Ένα ρομπότ συνδέεται με τις τουλάχιστον τρεις λεπίδες ρομπότ για να κινήσει ταυτόχρονα τις λεπίδες ρομπότ μεταξύ τουλάχιστον τριών αιθουσών και να μεταφέρει ταυτόχρονα κάθε ενός από τα υποστρώματα που υποστηρίζονται στις λεπίδες ρομπότ από μια αίθουσα σε μια άλλη αίθουσα.