This invention is an instrument adaptable for integration into a process
tool the combines a number of instruments for surface characterization. As
an integrated process monitor, the invention is capable of monitoring
surface dishing, surface erosion and thickness of residue layers on
work-pieces with little time delay. The invention is adaptable to making
measurements while a wafer or work-piece is either wet or dry. A preferred
embodiment includes an integrated optical profiler adapted to surface
profiling in the presence of optical interference arising from
retro-reflections from underlying optical non-uniformities. Alternate
embodiments include an integrated stylus profiler with vibration
isolation.
Esta invención es un instrumento adaptable para la integración en una herramienta de proceso las cosechadoras un número de instrumentos para la caracterización superficial. Pues un monitor de proceso integrado, la invención es capaz de supervisar la superficie que sirve, la erosión y el grueso superficiales de las capas del residuo en los objetos con poco retraso. La invención es adaptable a hacer medidas mientras que una oblea o un objeto es mojado o seco. Una encarnación preferida incluye un profiler óptico integrado adaptado a la superficie que perfila en la presencia de interferencia óptica que se presenta de retro-reflexiones de no-uniformidades ópticas subyacentes. Las encarnaciones alternas incluyen un profiler integrado de la aguja con el aislamiento de vibración.
