System for processing a workpiece

   
   

An apparatus for processing a workpiece in a micro-environment includes a workpiece housing connected to a motor for rotation. The workpiece housing forms a processing chamber where one or more processing fluids are distributed across at least one face of the workpiece by centrifugal force generated during rotation of the housing. An array of workpiece housings are contained within an enclosure. A robot moves workpieces into and out of the workpiece housings.

Μια συσκευή για ένα κομμάτι προς κατεργασία micro-environment περιλαμβάνει μια κατοικία κομματιών προς κατεργασία που συνδέεται με μια μηχανή για την περιστροφή. Η κατοικία κομματιών προς κατεργασία διαμορφώνει μια αίθουσα επεξεργασίας όπου ένα ή περισσότερα ρευστά επεξεργασίας διανέμονται πέρα από τουλάχιστον ένα πρόσωπο του κομματιού προς κατεργασία τη φυγοκεντρική δύναμη που παράγεται από κατά τη διάρκεια της περιστροφής της κατοικίας. Μια σειρά κατοικιών κομματιών προς κατεργασία περιλαμβάνεται μέσα σε μια περίφραξη. Ένα ρομπότ κινεί τα κομμάτια προς κατεργασία σε και από τις κατοικίες κομματιών προς κατεργασία.

 
Web www.patentalert.com

< Apparatus and methods for processing a workpiece

< Method and apparatus for accessing microelectronic workpiece containers

> Processing apparatus with sensory subsystem for detecting the presence/absence of wafers or other workpieces

> Method for filling recessed micro-structures with metallization in the production of a microelectronic device

~ 00102