An apparatus and method for handling microelectronic workpieces initially
positioned in a container. The container can be changeable from a first
configuration where the microelectronic workpiece is generally
inaccessible within the container to a second configuration where the
microelectronic workpiece is accessible for removal from the container.
The apparatus can include a container access device positionable proximate
to an aperture of an enclosure that at least partially encloses a region
for handling a microelectronic workpiece. The container access device can
be movably positioned proximate to the aperture to change the
configuration of the container from the first configuration to the second
configuration. A container support can be positioned proximate to the
aperture and can be configured to move the container to a fixed,
stationary position relative to the aperture when the container is in the
second configuration. Accordingly, the microelectronic workpieces within
the container can be less likely to be damaged by movement of the
container. Instead, a workpiece transfer device can be configured to have
a range of travel that allows it to access each of the microelectronic
workpieces within the container without requiring that the container
itself be moved. A workpiece detector coupled to the container access
device can move generally parallel to the microelectronic workpieces to
detect a presence, absence, and/or position of the microelectronic
workpieces, without moving laterally toward and away from the
microelectronic workpieces.
Un matériel et une méthode pour manipuler les objets microélectroniques au commencement placés dans un récipient. Le récipient peut être variable d'une première configuration où l'objet microélectronique est généralement inaccessible dans le récipient à une deuxième configuration où l'objet microélectronique est accessible pour le déplacement du récipient. L'appareil peut inclure un proche positionable de dispositif d'accès de récipient à une ouverture d'une clôture qui enferme au moins partiellement une région pour manipuler un objet microélectronique. Le dispositif d'accès de récipient peut être proche mobile placé à l'ouverture pour changer la configuration du récipient de la première configuration en la deuxième configuration. Un appui de récipient peut être proche placé à l'ouverture et peut être configuré pour déplacer le récipient à une position fixe et stationnaire relativement à l'ouverture quand le récipient est dans la deuxième configuration. En conséquence, les objets microélectroniques dans le récipient peuvent être moins pour être endommagés par le mouvement du récipient. Au lieu de cela, un dispositif de transfert d'objet peut être configuré pour avoir une gamme du voyage qui lui permet d'accéder à chacun des objets microélectroniques dans le récipient sans exiger que le récipient lui-même soit déplacé. Un détecteur d'objet couplé au dispositif d'accès de récipient peut se déplacer généralement parallèle aux objets microélectroniques pour détecter une présence, une absence, et/ou une position des objets microélectroniques, sans éloigner latéralement vers et des objets microélectroniques.
