A system and method for processing large area substrates is provided. In
one embodiment, a processing system includes a transfer chamber having at
least one processing chamber and a substrate staging system coupled
thereto. The staging system includes a load lock chamber having a first
port coupled to the transfer chamber and a heat treating station coupled
to a second port of the load lock chamber. A load lock robot is disposed
in the load lock chamber to facilitate transfer between the heat treating
station and the load lock chamber.
Un sistema y un método para procesar los substratos grandes del área se proporciona. En una encarnación, un sistema de proceso incluye un compartimiento de transferencia que tiene por lo menos un compartimiento de proceso y un sistema del estacionamiento del substrato juntado además. El sistema del estacionamiento incluye un compartimiento de la cerradura de la carga que tiene un primer puerto juntado al compartimiento de transferencia y un calor que trata la estación juntada a un segundo puerto del compartimiento de la cerradura de la carga. Una robusteza de la cerradura de la carga se dispone en el compartimiento de la cerradura de la carga para facilitar transferencia entre el calor que trata la estación y el compartimiento de la cerradura de la carga.
