A loadlock chamber assembly includes a loadlock chamber, a sub-chamber
removably attached to the loadlock chamber and a first robot arm having a
primary pivot axis within the sub-chamber, wherein the first robot arm
can move a substrate from a position approximately in a center of the
loadlock chamber to a position outside the loadlock chamber.
Een assemblage van de loadlockkamer omvat een loadlockkamer, een sub-kamer removably in bijlage aan de loadlockkamer en een eerste robotwapen dat een primaire spilas heeft binnen de sub-kamer, waarin het eerste robotwapen een substraat van een positie in een centrum van de loadlockkamer in een positie buiten de loadlockkamer kan ongeveer bewegen.
