A method and apparatus for providing communication between a defect source
identifier and a tool data collection and control system. The defect
source identifier collects wafer data until a defect is identified. Upon
identification of a defect, a request is sent to the tool data collection
and control system to request data of the tool parameters at the time the
defect occurred. The tool data collection and control system retrieves the
tool parameters and communicates them to the defect source identifier
through a network. The tool parameters are processed by the defect source
identifier to extract certain wafer data. The selected wafer data is
communicated to the tool data collection and control system and is used to
execute a prediction model to predict failure possible of the tool
elements.
Eine Methode und ein Apparat für das Zur Verfügung stellen von von Kommunikation zwischen einer Defektabsenderkennung und einer Werkzeugdatenerfassung und einem Steuersystem. Die Defektabsenderkennung sammelt Oblatedaten, bis ein Defekt gekennzeichnet ist. Nach Kennzeichnung eines Defektes, wird ein Antrag zur Werkzeugdatenerfassung und zum Steuersystem, um Daten der Werkzeugparameter zu bitten geschickt, zu der Zeit als der Defekt auftrat. Die Werkzeugdatenerfassung und das Steuersystem holt die Werkzeugparameter zurück und teilt sie zur Defektabsenderkennung durch ein Netz mit. Die Werkzeugparameter werden durch die Defektabsenderkennung verarbeitet, um bestimmte Oblatedaten zu extrahieren. Die vorgewählten Oblatedaten werden zur Werkzeugdatenerfassung und zum Steuersystem mitgeteilt und werden verwendet, um ein Vorhersagemodell durchzuführen, um den Ausfall vorauszusagen, der von den Werkzeugelementen möglich ist.
