A loadlock chamber assembly includes a loadlock chamber, a sub-chamber
removably attached to the loadlock chamber and a first robot arm having a
primary pivot axis within the sub-chamber, wherein the first robot arm
can move a substrate from a position approximately in a center of the
loadlock chamber to a position outside the loadlock chamber.
Une chambre de loadlock inclut une chambre de loadlock, une secondaire-chambre démontable attachée à la chambre de loadlock et un premier bras de robot ayant un axe primaire de pivot dans la secondaire-chambre, où le premier bras de robot peut déplacer un substrat d'une position approximativement à un centre de la chambre de loadlock à une position en dehors de la chambre de loadlock.
