A wafer cluster tool is described which operates in a regular, periodic
fashion. Embodiments of the invention have a periodicity of one sending
period. The invention enables the determination of pick-up times for
process chambers in the cluster tool, and embodiments of the invention
allow the creation and maintenance of an updated timetable. The timetable
indicates times when each of the process chambers is to be serviced.
These values are updated as the process chambers receive new wafers.
Robots in the cluster tool may pre-position themselves in front of
modules, or process chambers, to be served. Robot pre-positioning
eliminates the wait time of individual modules beyond queue times which
have been pre-determined for the modules. This renders the path of the
individual robots pre-deterministic, and enables the cluster tool to
utilize single gripper robots.
Se describe una herramienta del racimo de la oblea que funciona en una manera regular, periódica. Las encarnaciones de la invención tienen una periodicidad de un período que envía. La invención permite la determinación de los tiempos de la recogida para los compartimientos de proceso en la herramienta del racimo, y las encarnaciones de la invención permiten la creación y el mantenimiento de un horario actualizado. El horario indica las épocas en que cada uno de los compartimientos de proceso debe ser mantenido. Se ponen al día estos valores mientras que los compartimientos de proceso reciben las obleas nuevas. Las robustezas en la herramienta del racimo pueden pre-position delante de los módulos, o de los compartimientos del proceso, para ser servido. La robusteza pre-positioning elimina la época de la espera de módulos individuales más allá de los tiempos de coleta que se han predeterminado para los módulos. Esto hace la trayectoria de las robustezas individuales pre-determinista, y permite a la herramienta del racimo utilizar las solas robustezas del agarrador.
