A thin film resonator having enhanced performance and a manufacturing
method thereof are disclosed. The thin film resonator includes a
supporting means, a first electrode, a dielectric layer and a second
electrode. The supporting means has several posts and a supporting layer
formed on the posts. The first electrode, the dielectric layer and the
second electrode are successively formed on the supporting layer. The thin
film resonator is exceptionally small and can be highly integrated, and
the thickness of the dielectric layer of the resonator can be adjusted to
achieve the integration of multiple bands including radio, intermediate
and low frequencies. Also, the thin film resonator can minimize
interference and has ideal dimensions because of its compact substrate,
making the thin film resonator exceptionally small, yet comprising a
three-dimensional, floating construction.
Un resonador de la película fina que realza funcionamiento y un método de fabricación de eso se divulgan. El resonador de la película fina incluye medios de soporte, un primer electrodo, una capa dieléctrica y un segundo electrodo. Los medios de soporte tienen varios postes y una capa de soporte formada en los postes. El primer electrodo, la capa dieléctrica y el segundo electrodo sucesivamente se forman en la capa de soporte. El resonador de la película fina es excepcionalmente pequeño y puede ser integrado altamente, y el grueso de la capa dieléctrica del resonador se puede ajustar para alcanzar la integración de vendas múltiples incluyendo las frecuencias de la radio, intermedias y bajas. También, el resonador de la película fina puede reducir al mínimo interferencia y tiene dimensiones ideales debido a su substrato compacto, haciendo el resonador de la película fina excepcionalmente pequeño, con todo abarcando una construcción tridimensional, flotante.
