A system and method of manufacturing wafers are provided suitable for a
semiconductor manufacturing system and a method thereof capable of
shortening the processing period composed of a series of processes
applied to objects to be processed, mainly carry out processes and
conveyance peace by peace, and which can manufacture even various kings
of products. The system is provided with a plurality of processing units
each having therein a conveying mechanism, and is provided therein with a
conveyer device for conveying the objects to be processed to the
processing units. Further, the conveyer device includes loader conveying
means which is laid along object transferring ports of the plurality of
processing units across the object transferring ports of not less than
two of the processing units, and a running robot which runs across not
less than two of the object transferring ports, and a transferring robot
for transferring the objects to be processed from the running robot to
the processing units through the transferring ports, are arranged in the
loader means. The loader means is shielded and provided with a purifying
device so as to define an atmospheric pressure space conveying path.
Ένα σύστημα και μια μέθοδος τις γκοφρέτες παρέχονται κατάλληλος για ένα σύστημα κατασκευής ημιαγωγών και μια μέθοδο επ' αυτού ικανά την περίοδο επεξεργασίας που αποτελείται από μια σειρά διαδικασιών που εφαρμόζονται στα αντικείμενα για να υποβληθούν σε επεξεργασία, να πραγματοποιήσουν κυρίως τις διαδικασίες και την ειρήνη μεταβίβασης από την ειρήνη, και που μπορούν να κατασκευάσουν ακόμη και τους διάφορους βασιλιάδες των προϊόντων. Το σύστημα παρέχεται μια πολλαπλότητα των μονάδων επεξεργασίας κάθε μια που έχει εκεί μέσα έναν μεταβιβάζοντας μηχανισμό, και του παρέχεται εκεί μέσα μια συσκευή μεταφορέων για τα αντικείμενα που υποβάλλονται σε επεξεργασία στις μονάδες επεξεργασίας. Περαιτέρω, η συσκευή μεταφορέων περιλαμβάνει το φορτωτή που μεταβιβάζει τα μέσα που τοποθετούνται κατά μήκος του αντικειμένου μεταφέροντας τους λιμένες της πολλαπλότητας των μονάδων επεξεργασίας πέρα από το αντικείμενο μεταφέροντας τους λιμένες περισσότερο από δύο από τις μονάδες επεξεργασίας, και ένα τρέχοντας ρομπότ που τρέχουν σε περισσότερο από δύο από το αντικείμενο που μεταφέρει τους λιμένες, και ένα ρομπότ μεταφοράς για τη μεταφορά των αντικειμένων που υποβάλλονται σε επεξεργασία από το τρέχοντας ρομπότ στις μονάδες επεξεργασίας μέσω των λιμένων μεταφοράς, τακτοποιούνται στα μέσα φορτωτών. Τα μέσα φορτωτών προστατεύονται και τους παρέχεται μια καθαρίζοντας συσκευή ώστε να καθοριστεί μια ατμοσφαιρική διαστημική μεταβιβάζοντας πορεία πίεσης.
