A system using backside helium in the processing of wafers in the
manufacturing of semiconductor products can cause alarms that can
interrupt the manufacturing of the wafers and create damaged wafers. A PID
controller responds to the flow of helium gas to generate control signals
for operating several algorithms. A filter connected to the output of the
PID controller removes unwanted and dangerous noise spikes that have in
the past caused a condition called backside alarm. Noise spikes on the dc
voltages, the helium supply pressure, the pressure set point, the pressure
reading and the non-optimization of the PID controller can cause the
alarm.
Ένα σύστημα που χρησιμοποιεί το ήλιο πίσω πλευρών στην επεξεργασία των γκοφρετών στην κατασκευή των προϊόντων ημιαγωγών μπορεί να προκαλέσει τους συναγερμούς που μπορούν να διακόψουν την κατασκευή των γκοφρετών και να δημιουργήσουν τις χαλασμένες γκοφρέτες. Ένας ελεγκτής PID αποκρίνεται στη ροή του ηλίου για να παραγάγει αέριο τα σήματα ελέγχου για τη λειτουργία διάφορων αλγορίθμων. Ένα φίλτρο που συνδέεται με την παραγωγή του ελεγκτή PID αφαιρεί τις ανεπιθύμητες και επικίνδυνες ακίδες θορύβου που στο παρελθόν έχουν προκαλέσει έναν όρο αποκαλούμενο συναγερμό πίσω πλευρών. Οι ακίδες θορύβου στις συνεχείς τάσεις, την πίεση ανεφοδιασμού ηλίου, το καθορισμένο σημείο πίεσης, την ανάγνωση πίεσης και την μη-βελτιστοποίηση του ελεγκτή PID μπορούν να προκαλέσουν το συναγερμό.
