A method and device for improved salicide resistance in polysilicon gates
under 0.20 .mu.m. The several embodiments of the invention provide for
formation of gate electrode structures with recessed and partially
recessed spacers. One embodiment, provides a gate electrode structure with
recessed thick inner spacers and thick outer spacers. Another embodiment
provides a gate electrode structure with recessed thin inner spacers and
recessed thick outer spacers. Another embodiment provides a gate electrode
structure with thin inner spacers and partially recessed outer spacers.
Another embodiment provides a gate electrode structure with two spacer
stacks. The outermost spacer stack with recessed thin inner spacers and
recessed thick outer spacers. The inner spacer stack with thin inner
spacers and thin outer spacers. Another embodiment provides a gate
electrode structure with two spacer stacks. The outermost spacer stack
with recessed thin inner spacers and recessed thick outer spacers. The
inner spacer stack with recessed thin inner spacers and recessed thin
outer spacers.
Μια μέθοδος και μια συσκευή για τη βελτιωμένη αντίσταση salicide στις πύλες πολυπυρίτιων κάτω από 0,20 μu.μ. Οι διάφορες ενσωματώσεις της εφεύρεσης προβλέπουν το σχηματισμό των δομών ηλεκτροδίων πυλών με τα τοποθετημένα και μερικώς τοποθετημένα πλήκτρα διαστήματος. Μια ενσωμάτωση, παρέχει σε μια δομή ηλεκτροδίων πυλών τα τοποθετημένα παχιά εσωτερικά πλήκτρα διαστήματος και τα παχιά εξωτερικά πλήκτρα διαστήματος. Μια άλλη ενσωμάτωση παρέχει σε μια δομή ηλεκτροδίων πυλών τα τοποθετημένα λεπτά εσωτερικά πλήκτρα διαστήματος και τα τοποθετημένα παχιά εξωτερικά πλήκτρα διαστήματος. Μια άλλη ενσωμάτωση παρέχει σε μια δομή ηλεκτροδίων πυλών τα λεπτά εσωτερικά πλήκτρα διαστήματος και τα μερικώς τοποθετημένα εξωτερικά πλήκτρα διαστήματος. Μια άλλη ενσωμάτωση παρέχει σε μια δομή ηλεκτροδίων πυλών δύο σωρούς πλήκτρων διαστήματος. Ο πιο ακραίος σωρός πλήκτρων διαστήματος με τα τοποθετημένα λεπτά εσωτερικά πλήκτρα διαστήματος και τα τοποθετημένα παχιά εξωτερικά πλήκτρα διαστήματος. Ο εσωτερικός σωρός πλήκτρων διαστήματος με τα λεπτά εσωτερικά πλήκτρα διαστήματος και τα λεπτά εξωτερικά πλήκτρα διαστήματος. Μια άλλη ενσωμάτωση παρέχει σε μια δομή ηλεκτροδίων πυλών δύο σωρούς πλήκτρων διαστήματος. Ο πιο ακραίος σωρός πλήκτρων διαστήματος με τα τοποθετημένα λεπτά εσωτερικά πλήκτρα διαστήματος και τα τοποθετημένα παχιά εξωτερικά πλήκτρα διαστήματος. Ο εσωτερικός σωρός πλήκτρων διαστήματος με τα τοποθετημένα λεπτά εσωτερικά πλήκτρα διαστήματος και τα τοποθετημένα λεπτά εξωτερικά πλήκτρα διαστήματος.
