A conductive line varies in thickness to assist in overcoming RC delays and
noise coupling. By varying line thickness, variation in conductor width is
avoided if necessary to maintain a specified minimum pitch between
conductors while maintaining predetermined desired RC parameters and noise
characteristics of the conductive line. Conductor depth variation is
achieved by etching a dielectric layer to different thicknesses. A
subsequent conductive fill over the dielectric layer and in the differing
thicknesses results in a conductive line that varies in thickness.
Different conductive line thicknesses available at a particular metal
level can additionally be used for semiconductor structures other than a
signal or a power supply conductive line, such as a contact, a via or an
electrode of a device. The thickness analysis required to determine how
interconnect thickness is varied in order to meet a desired design
criteria may be automated and provided as a CAD tool.
Een geleidende lijn variëert in dikte om in het overwinnen van vertragingen RC en lawaaikoppeling bij te wonen. Door lijndikte te variëren, wordt de variatie in leiderbreedte vermeden indien nodig om een gespecificeerde minimumhoogte tussen leiders te handhaven terwijl het handhaven van vooraf bepaalde gewenste parameters RC en lawaaikenmerken van de geleidende lijn. De de dieptevariatie wordt van de leider bereikt door een diëlektrische laag aan verschillende dikten te etsen. Verdere geleidend vult meer dan de diëlektrische laag en de verschillende diktenresultaten in in een geleidende lijn die in dikte variëert. De verschillende geleidende lijndikten beschikbaar op bepaald metaalniveau kunnen bovendien voor halfgeleiderstructuren buiten een signaal of een geleidende lijn van de machtslevering, zoals een contact, a via of een elektrode van een apparaat worden gebruikt. De dikteanalyse die wordt vereist om te bepalen hoe interconnect de dikte gevarieerd is om een aan gewenste ontwerpcriteria te voldoen kan als CAD hulpmiddel worden geautomatiseerd en worden verstrekt.
