Lithographic apparatus and device manufacturing method

   
   

A method of providing pitch torque compensation for planar motors in which pitch torque is not inherently provided includes calculating and summing a given set of forces ideally required to be applied by each forcer in the planar motor. Correction forces for each forcer are determined such that the net effect of the corrections is equal and opposite to the pitch torques previously determined.

Um método de fornecer a compensação do torque do passo para os motores planar em que o torque do passo não é fornecido inerente inclui o cálculo e somar de um jogo dado das forças requeridas idealmente para ser aplicado por cada forcer no motor planar. As forças da correção para cada forcer são determinadas tais que o efeito líquido das correções é igual e oposto aos torques do passo determinados previamente.

 
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< Substrate processing method and substrate processing apparatus

< Camera rotation device

> Parallel plate development with the application of a differential voltage

> Substrate treating apparatus

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