A method of defect detection and repair of micro-electro-mechanical systems
(MEMS) devices comprising the steps of (A) detecting at least one defect
in the MEMS device, wherein each defect is an object that prevents the
MEMS device from functioning substantially properly; (B) performing repair
of each detected defect; (C) checking whether the MEMS device is
functioning substantially properly after each detected defect is repaired;
and (D) if the MEMS device is not functioning substantially properly after
each detected defect is repaired, repeating steps (A-C).
Une méthode de détection de défaut et réparation des dispositifs micro-électro-mécaniques des systèmes (MEMS) comportant les étapes (a) détectant au moins d'un défaut dans le dispositif de MEMS, où chaque défaut est un objet qui empêche le dispositif de MEMS de fonctionner essentiellement correctement ; (b) exécution de la réparation de chaque défaut détecté ; (c) vérifiant si le dispositif de MEMS fonctionne essentiellement correctement après que chaque défaut détecté soit réparé ; et (d) si le dispositif de MEMS ne fonctionne pas essentiellement correctement après que chaque défaut détecté soit réparé, répétant fait un pas (C.A.).
