An apparatus and method for scribing a semiconductor wafer coated with a
substantially opaque material using vision recognition is disclosed. The
apparatus includes a stage configured to hold a wafer, an imaging unit
configured to generate an image of the wafer, and a computer configured to
identify the coordinates of the scribe lines on the wafer from the image.
During operation, the wafer is imaged using the imaging unit. The computer
then identifies the coordinates of the scribe lines on the wafer from the
image. Thereafter the coordinates are provided to a dicing machine which
performs the dicing of the wafer. Accuracy is therefore improved since the
dicing machine relies on the coordinates of the scribe lines as opposed to
attempting to recognize the scribe lines through the opaque material.
According to various embodiments of the invention, the imaging unit may
use infrared, X-ray or ultrasound waves to generate the image of the
wafer.
Μια συσκευή και μια μέθοδος για μια γκοφρέτα ημιαγωγών που ντύνεται με ένα ουσιαστικά αδιαφανές υλικό που χρησιμοποιεί την αναγνώριση όρασης αποκαλύπτονται. Η συσκευή περιλαμβάνει ένα στάδιο που διαμορφώνεται για να κρατήσει μια γκοφρέτα, μια μονάδα απεικόνισης διαμορφωμένες για να παραγάγουν μια εικόνα της γκοφρέτας, και έναν υπολογιστή που διαμορφώνεται για να προσδιορίσει τις συντεταγμένες των γραμμών γραφέων στην γκοφρέτα από την εικόνα. Κατά τη διάρκεια της λειτουργίας, η γκοφρέτα είναι imaged χρησιμοποιώντας τη μονάδα απεικόνισης. Ο υπολογιστής προσδιορίζει έπειτα τις συντεταγμένες των γραμμών γραφέων στην γκοφρέτα από την εικόνα. Έκτοτε οι συντεταγμένες παρέχονται σε μια χωρίζοντας σε τετράγωνα μηχανή που εκτελεί το χωρισμό σε τετράγωνα της γκοφρέτας. Η ακρίβεια βελτιώνεται επομένως δεδομένου ότι η χωρίζοντας σε τετράγωνα μηχανή στηρίζεται στις συντεταγμένες των γραμμών γραφέων όπως αντιτάσσονται στην προσπάθεια να αναγνωριστούν οι γραμμές γραφέων μέσω του αδιαφανούς υλικού. Σύμφωνα με τις διάφορες ενσωματώσεις της εφεύρεσης, η μονάδα απεικόνισης μπορεί να χρησιμοποιήσει τα υπέρυθρα, των ακτίνων X ή κύματα υπερήχου για να παραγάγει την εικόνα της γκοφρέτας.
