Linear pulse motor, stage apparatus, and exposure apparatus

   
   

A linear pulse motor includes primary stators (1) in which a plurality of excitation units (3a-3d) and excitation coils (5a-5d) wound on the excitation coils are lined up in a row, and a secondary movable element (12) arranged at a predetermined gap from the stators (1) to face side surfaces of the stators (1). The stators (1) are arranged in a traveling direction of the movable element (12), and the stators (1) and the movable element (12) are supported to be movable relative to each other in the traveling direction of the movable element (12). A plurality of pole teeth (16) arranged on the movable element (12) are partitioned and integrally connected to each other by a nonmagnetic member (17). The secondary movable element is made lightweight and the response performance is improved.

Un moteur linéaire d'impulsion inclut les redresseurs primaires (1) dans lequel une pluralité des unités d'excitation (3a-3d) et les enroulements d'excitation (5a-5d) enroulent sur les enroulements d'excitation sont alignés dans une rangée, et un élément mobile secondaire (12) disposé à un espace prédéterminé des redresseurs (1) pour faire face aux surfaces latérales des redresseurs (1). Les redresseurs (1) sont arrangés dans une direction de déplacement de l'élément mobile (12), et les redresseurs (1) et l'élément mobile (12) sont soutenus pour être relatif mobile dans la direction de déplacement de l'élément mobile (12). Une pluralité de dents de poteau (16) disposées sur l'élément mobile (12) sont divisées et intègralement reliées entre eux par un membre non magnétique (17). L'élément mobile secondaire est fait à poids léger et l'exécution de réponse est améliorée.

 
Web www.patentalert.com

< Plasma display panel

< Structure and method for formation of a blocked silicide resistor

> Electron source substrate, production method thereof, and image forming apparatus using electron source substrate

> Electron beam system and method of manufacturing devices using the system

~ 00160