A light curtain safety system for a semiconductor device handler that
includes a programmable control unit and a robot mechanism that is
selectively operated in response to signals generated by the control unit.
The light curtain safety system includes an apparatus for generating a
light curtain such that accessing the robot mechanism requires breaking
the light curtain. The light curtain safety system detects an operating
state of the semiconductor device handler using signals generated in the
control unit, and allows de-activation of the light curtain apparatus only
when operating state of the semiconductor device handler is in a
predetermined "safe" operating state. When the light curtain apparatus is
active and the light curtain is broken, the light curtain safety system
causes the semiconductor device handler to terminate power flow to the
robot mechanism.
Un sistema ligero de la seguridad de la cortina para un tratante de dispositivo de semiconductor que incluye una unidad de control programable y un mecanismo de la robusteza que se funcione selectivamente en respuesta a señales generó por la unidad de control. El sistema ligero de la seguridad de la cortina incluye un aparato para generar una cortina ligera tales que tener acceso al mecanismo de la robusteza requiere romper la cortina ligera. El sistema ligero de la seguridad de la cortina detecta un estado de funcionamiento del tratante de dispositivo de semiconductor usando las señales generadas en la unidad de control, y permite la desactivación del aparato ligero de la cortina solamente cuando el estado de funcionamiento del tratante de dispositivo de semiconductor está en un estado de funcionamiento "seguro" predeterminado. Cuando el aparato ligero de la cortina es activo y la cortina ligera está quebrada, el sistema ligero de la seguridad de la cortina hace a tratante de dispositivo de semiconductor terminar flujo de energía al mecanismo de la robusteza.
