A method for evaluating an insulating film includes: a first step of
forming an insulating film on a semiconductor substrate including a p-n
junction therein; a second step of selectively forming an electrode
pattern on the insulating film; a third step of forming a measurement
electrode on the insulating film so as to be electrically insulated from
the electrode pattern; and a fourth step of applying a measurement voltage
between the measurement electrode and the semiconductor substrate via the
insulating film and measuring a leakage current leaking through the p-n
junction so as to evaluate a damage to the insulating film or the
semiconductor substrate.
Μια μέθοδος για μια μονώνοντας ταινία περιλαμβάνει: ένα πρώτο βήμα να διαμορφώσει μια μονώνοντας ταινία σε ένα υπόστρωμα ημιαγωγών συμπεριλαμβανομένης μιας σύνδεσης PN εκεί μέσα ένα δεύτερο βήμα επιλεκτικά να διαμορφώσει ένα σχέδιο ηλεκτροδίων στη μονώνοντας ταινία ένα τρίτο βήμα της διαμόρφωσης ενός ηλεκτροδίου μέτρησης στη μονώνοντας ταινία ώστε να μονωθεί ηλεκτρικά από το σχέδιο ηλεκτροδίων και ένα τέταρτο βήμα της εφαρμογής μιας τάσης μέτρησης μεταξύ του ηλεκτροδίου μέτρησης και του υποστρώματος ημιαγωγών μέσω της μονώνοντας ταινίας και της μέτρησης μιας τρέχουσας διαρροής διαρροής μέσω της σύνδεσης PN ώστε να αξιολογηθεί μια ζημία στη μονώνοντας ταινία ή το υπόστρωμα ημιαγωγών.
