Lower electrode contact structures and methods of forming the same provide
an interface having a large surface area between a lower electrode and the
underlying layers. The lower electrode is in contact with a contact plug
and an insulation layer in which the contact plug is buried. At least one
supporting layer protrudes upright along the outer peripheral edge of the
top surface of the contact plug. The interface between the lower electrode
and the underlying layers is thus increased by the supporting layer(s) so
that the lower electrode and the underlying layers will solidly adhere to
each other.
Niedrigere Elektrode Kontaktstrukturen und Methoden der Formung dasselbe liefern eine Schnittstelle, die eine große Fläche zwischen einer untereren Elektrode und den zugrundeliegenden Schichten hat. Die unterere Elektrode ist in Verbindung mit einem Kontaktstecker und einer Isolierung Schicht, in denen der Kontaktstecker begraben wird. Mindestens steht eine stützende Schicht aufrecht entlang dem äußeren Zusatzrand der Oberfläche des Kontaktsteckers hervor. Die Schnittstelle zwischen der untereren Elektrode und den zugrundeliegenden Schichten wird folglich durch das stützende layer(s) erhöht, damit die unterere Elektrode und die zugrundeliegenden Schichten fest miteinander haften.
