A microfabricated probe array for nanolithography and process for designing
and fabricating the probe array. The probe array consists of individual
probes that can be moved independently using thermal bimetallic actuation
or electrostatic actuation methods. The probe array can be used to produce
traces of diffusively transferred chemicals on the substrate with sub-1
micrometer resolution, and can function as an arrayed scanning probe
microscope for subsequent reading and variation of transferred patterns.
A microfabricated l'allineamento della sonda per il nanolithography ed il processo per la progettazione e fabbricare dell'allineamento della sonda. L'allineamento della sonda consiste di diverse sonde che possono essere spostate indipendentemente usando l'attuazione bimetallica termica o i metodi elettrostatici di attuazione. L'allineamento della sonda può essere usato per produrre le tracce dei prodotti chimici diffusively trasferiti sul substrato con risoluzione di micrometro sub-1 e può funzionare come microscopio allineato della sonda di esame per lettura e variazione successive dei modelli trasferiti.
