A gray tone mask, which is patterned and used in a photolithographic
manufacturing process wherein a plurality of thin films are deposited and
patterned on a substrate, said mask having different gaps in the vertical
and horizontal directions so that the quantity of light which passes the
patterned mask and irradiated on the photosensitive material is controlled
depending on the direction of light irradiated from an exposing apparatus;
and a method of manufacturing a TFT of a LCD using just four masks.
Eine graue Tonschablone, die wird in einem photolithographic Herstellungsverfahren patterned und benutzt, worin eine Mehrzahl der Dünnfilme auf einem Substrat, die besagte Schablone niedergelegt und patterned werden, die unterschiedliche Abstände in den vertikalen und horizontalen Richtungen damit die Quantität des Lichtes hat, das die patterned Schablone führt und auf dem lichtempfindlichen Material bestrahlte, ist abhängig von der Richtung des Lichtes bestrahlt von einem herausstellenden Apparat kontrolliert; und eine Methode der Produktion eines TFT eines LCD mit gerade vier Schablonen.
