Embodiments of the invention generally provide a fluid processing
platform. The platform includes a mainframe having a substrate transfer
robot, at least one substrate cleaning cell on the mainframe, and at
least one processing enclosure. The processing enclosure includes a gas
supply positioned in fluid communication with an interior of the
processing enclosure, a first fluid processing cell positioned in the
enclosure, a first substrate head assembly positioned to support a
substrate for processing in the first fluid processing cell, a second
fluid processing cell positioned in the enclosure, a second head assembly
positioned to support a substrate for processing in the second fluid
processing cell, and a substrate shuttle positioned between the first and
second fluid processing cells and being configured to transfer substrates
between the fluid processing cells and the mainframe robot.
Воплощения вымысла вообще обеспечивают жидкую обрабатывая платформу. Платформа вклюает mainframe имея робот переноса субстрата, по крайней мере одну клетку чистки субстрата на mainframe, и по крайней мере одно обрабатывая приложение. Обрабатывая приложение вклюает расположенное обеспечение газовой смесью в жидкое сообщение с интерьером обрабатывая приложения, первой жидкой обрабатывая клетки расположенной в приложение, агрегат первого субстрата головной расположенный для того чтобы поддержать субстрат для обрабатывать в первой жидкой обрабатывая клетке, второй жидкой обрабатывая клетке расположенной в приложение, втором агрегате головки расположенном для того чтобы поддержать субстрат для обрабатывать в второй жидкой обрабатывая клетке, и челноке субстрата расположенном между первой и второй жидкостью обрабатывая клетки и установленном для того чтобы перенести субстраты между жидкостью обрабатывая клетки и робот mainframe.
