A process and apparatus for monitoring the cleaning of a surface (1) by laser irradiation includes illuminating the surface (1) to be cleaned, being cleaned or having been cleaned by ultra-violet irradiation provided either by the cleaning laser or by a further source (5) sufficient to excite into fluorescence contaminants (10, 11) on the surface (1) which fluoresce under ultra-violet irradiation.

Un proceso y un aparato para supervisar la limpieza de un (1) superficial por la irradiación del laser incluye iluminar el (1) superficial para ser limpiado, siendo limpiado o siendo limpiado por la irradiación ultravioleta proporcionó por el laser de la limpieza o por otra fuente (5) suficiente excitar en los contaminantes de la fluorescencia (10, 11) en el (1) superficial cuál despide luz fluorescente bajo irradiación ultravioleta.