A capacitor with improved reliability is disclosed. The capacitor includes
a bottom electrode, a top electrode, and an intermediate layer
therebetween. A contact, which is electrically coupled to the top
electrode, is provided. At least a portion of the contact is offset from
the capacitor. By offsetting the contact from the top electrode, the etch
damage to the top electrode is reduced, thereby reducing or eliminating
the need for the anneal to repair the etch damage.
Un condensador con confiabilidad mejorada se divulga. El condensador incluye un electrodo de tierra, un electrodo superior, y una capa intermedia therebetween. Se proporciona un contacto, que se junta eléctricamente al electrodo superior. Por lo menos una porción del contacto se compensa del condensador. Compensando el contacto del electrodo superior, el daño del grabado de pistas al electrodo superior es reducido, de tal modo reduciendo o eliminando la necesidad del recocer de reparar el daño del grabado de pistas.