An apparatus for processing a workpiece in a micro-environment includes a workpiece housing connected to a motor for rotation. The workpiece housing defines a substantially closed processing chamber therein in which one or more processing fluids are distributed across at least one face of the workpiece by centrifugal force generated during rotation of the housing. A dividing member at the edge of the spinning workpiece separates flow of fluids off of the top and bottom surfaces of the workpiece.

Een apparaat om een werkstuk in een micromilieu te verwerken omvat een werkstukhuisvesting die met een motor voor omwenteling wordt verbonden. De werkstukhuisvesting bepaalt wezenlijk gesloten daarin verwerkend kamer waarin één of meerdere verwerkingsvloeistoffen over minstens één gezicht van het werkstuk door middelpuntvliedende kracht verdeeld worden die tijdens omwenteling van de huisvesting wordt geproduceerd. Een verdelend lid bij de rand van het spinnende werkstuk scheidt stroom weg van vloeistoffen van de hoogste en bodems van het werkstuk.