A method and apparatus for transmitting electrical signals and fluids to and/or from a microelectronic workpiece. An apparatus in accordance with one embodiment of the invention includes a shaft rotatable about a shaft axis and having a first end with a first electrical contact portion toward the first end, a second end opposite the first end, and an internal channel along the shaft axis between the first and second ends. The shaft can further have at least one first hole toward the first end with the first hole extending radially from the channel to an external surface of the shaft. The shaft can still further have at least one second hole toward the second end with the second hole extending from the channel to the external surface. A housing rotatably receives the shaft and has an aperture coupleable to a fluid source and/or fluid sink. The housing further has a fluid passage positioned adjacent to at least one of the first holes of the shaft and in fluid communication with the aperture when the shaft rotates relative to the housing. The housing also has a second electrical contact portion engaged with the first electrical contact portion to transmit electrical signals between the first and second electrical contact portions while the shaft rotates relative to the housing.

Un metodo e un apparecchio per trasmettere i segnali ed i liquidi elettrici a e/o da un pezzo in lavorazione microelettronico. Un apparecchio in conformità con un metodo di realizzazione dell'invenzione include un albero rotativo circa un asse dell'albero ed avere una prima estremità con una prima parte del contatto elettrico verso la prima estremità, una seconda estremità di fronte alla prima estremità e una scanalatura interna lungo l'asse dell'albero fra le prime e seconde estremità. L'albero può più ulteriormente avere almeno un primo foro verso la prima estremità con il primo foro che si estende radialmente dalla scanalatura fino una superficie esterna dell'albero. L'albero può ancora più avere almeno un secondo foro verso la seconda estremità con il secondo foro che si estende dalla scanalatura fino la superficie esterna. Un alloggiamento riceve rotativamente l'albero ed ha un'apertura coupleable ad un dispersore fluido del liquido e/o di fonte. L'alloggiamento ulteriore ha un passaggio del fluido posizionato adiacente almeno ad uno dei primi fori dell'albero e nella comunicazione fluida con l'apertura quando l'albero ruota riguardante l'alloggiamento. L'alloggiamento inoltre ha una seconda parte del contatto elettrico agganciata con la prima parte del contatto elettrico per trasmettere i segnali elettrici fra le prime e seconde parti del contatto elettrico mentre l'albero ruota riguardante l'alloggiamento.