A method and an apparatus for performing a batch organization of
semiconductor wafers. Data relating to metrology data associated with a
processed semiconductor wafer in a lot is acquired. A quality
characteristic associated with the processed semiconductor wafer is
determined based upon the metrology data. A plurality of semiconductor
wafers associated with the lot re-organized for subsequent processing,
based upon the quality characteristic.
Un metodo e un apparecchio per l'effettuazione dell'organizzazione in lotti delle cialde a semiconduttore. I dati concernente i dati di metrologia connessi con una cialda proceduta a semiconduttore dentro mólto sono acquistati. Una qualità che collegato caratteristico con la cialda proceduta a semiconduttore è determinato ha basato sui dati di metrologia. Una pluralità di cialde a semiconduttore si è associata con il lotto riorganizzato per l'elaborazione successiva, basato sulla caratteristica di qualità.
