RuSixOy-containing adhesion layers and process for fabricating the same

   
   

Integrated circuit structures having a substrate assembly that includes at least one active device and a silicon-containing region are disclosed. The integrated circuit structure includes an interconnect formed relative to the at least one active device and the silicon-containing region. The interconnect includes an adhesion layer on the silicon-containing region. The adhesion layer is formed of RuSi.sub.x O.sub.y, where x and y are in a range of about 0.01 to about 10.

Des structures de circuit intégré ayant un substrat qui inclut au moins un dispositif actif et une région silicium-contenante sont révélées. La structure de circuit intégré inclut une interconnexion formée relativement à l'au moins un dispositif actif et à la région silicium-contenante. L'interconnexion inclut une couche d'adhérence sur la région silicium-contenante. La couche d'adhérence est constituée de RuSi.sub.x O.sub.y, où x et y sont dans une gamme environ de 0.01 environ à 10.

 
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