An active matrix substrate for a liquid crystal display and method of
forming the same. To form the active matrix substrate five masks are
needed. The first mask forms gate lines on the transparent substrate. The
second mask patterns a stacked layer of a metal layer/an n-doped layer/a
semiconductor layer formed on a gate insulating layer to form data lines.
After forming a low k dielectric layer, the third mask forms openings
therein. The forth mask patterns pixel electrodes and conducting lines
with source pattern on the low k dielectric layer and further patterns the
metal layer and the n-doped layer. After depositing a passivating layer
the fifth mask defines the passivating layer.
Активно субстрат матрицы для жидкостной crystal индикации и метода формировать эти же. Для того чтобы сформировать активно субстрат 5 матрицы маски необходимы. Первая маска формирует линии строба на прозрачном субстрате. Вторые картины маски штабелированный слой металла layer/an н-dal допинг слою полупроводника layer/a сформировали на слое строба изолируя для того чтобы сформировать телевизионная строка с данными телетекста. После формировать низкий слой к диэлектрический, третья маска формирует отверстия в этом. Вперед электроды пиксела картин маски и дирижируя линии с картиной источника на низком слое к диэлектрическом и более добавочных картинах слой металла и н-danny1 допинг слой. После депозировать пассивируя слой пятая маска определяет пассивируя слой.
